(一)超凈間之定義

　　超凈間(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。

　　「超凈間」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　超凈間最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「超凈間」。

　　世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

　　209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，超凈間等級以`M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

　　美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

　　(三)超凈間控管之項目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能防止微塵粒子之產生。

　　3. 溫度和濕度之控制。

　　4. 壓力之調節(jié)。

　　5. 有害氣體之排除。

　　6. 結構物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁干擾預防。

　　9. 安全因素之考慮。

　　10. 節(jié)能之考量。

　　(四)超凈間之分類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。

　　優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于超凈間等級需定較高之環(huán)境使用，一般其超凈間等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛�不會影響其它工作區(qū)域。

　　優(yōu)點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　3.復合式(Mixed Type)：

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。

　　此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(3)并裝局部超凈間(Clean Spot)：將超凈間等級10,000~100,000之亂流超凈間內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

　　潔凈工作棚：為在亂流式之超凈間空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

　　(五)超凈間氣流之流動

　　超凈間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

　　超凈間系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而超凈間內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

　　超凈間內的氣流是左右超凈間性能的重要因素，一般超凈間的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以最適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經濟性效果。

　　另一方面欲達到超凈間潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。

　　垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般超凈間，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

　　影響超凈間的氣流因素很多，如制程設備、人員、超凈間組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

　　一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于超凈間空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當?shù)臍饬鞣至鳎�此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

　　超凈間內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

　　(六)超凈間之構成

　　超凈間的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的超凈間：

　　(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

　　(2)空調系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。

　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。

　　(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

　　(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

　　超凈間之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：

　　A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;

　　B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子;

　　C.吸濕性小;

　　D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高;

　　超凈間按用途分類(可分為兩大類)

　　(1)、工業(yè)超凈間——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業(yè)。

　　(2)、生物超凈間，主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為; A、 一般生物超凈間，主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業(yè)超凈間。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。

　　B、 生物學安全超凈間：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)

　　第8樓亂流超凈間的原理和特性

　　1、定義：亂流超凈間的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的超凈間.

　　2、原理：亂流超凈間靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的(亂流超凈間一般設計在千級以上至30萬級凈化級別)。

　　3、特性：亂流超凈間是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多，凈化級別越高)

　　(1)、自凈時間：是指超凈間按設計換氣次數(shù)開始送風到超凈間，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)

　　(2)、換氣次數(shù)(按上述自凈時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規(guī)范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)

　　六、超凈間(凈化空調)的結構組成

　　(1)、組合式凈化空調機組

　　(2)、潔凈送風管道

　　(3)、潔凈回風管道

　　(4)、送風靜壓箱

　　(5)、高效過濾器

　　(6)、多孔擴散板

　　(7)、超凈間吊頂

　　(8)、超凈間隔斷

　　(9)、百葉回風口

　　(10)、新風口

　　污染源知識

　　1、發(fā)塵量

　　超凈間內的發(fā)塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內;產品，材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發(fā)塵絕對量也不斷減少。

　　A、材質：棉質發(fā)塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

　　B、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少;

　　C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍;

　　D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。

　　室內維護結構表面發(fā)塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當。

　　2、發(fā)菌量

　　分析國外試驗資料可以認為：

　　(1) 超凈間內當工作人員穿無菌服時：

　　靜止時的發(fā)菌量一般為10-300個/min.人

　　軀體一般活動時的發(fā)菌量為 150-1000個/min.人

　　快步行走時的發(fā)菌量為 900-2500個/min.人

　　(2) 咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人

　　噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人

　　(3) 穿平常衣服時發(fā)菌量 3300~62000個/ min.人

　　(4) 無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14

　　(5) 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內事例：

　　(6) 手術中人員發(fā)菌量 878個/ min.人

　　所以，可知超凈間內無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/ min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據(jù)是可行的。